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金融界2025年7月14日音讯,国度常识产权局信息裸露,北京朔方华创微电子装备有限公司肯求一项名为“安全互锁扬弃安装、半导体工艺开导过火扬弃身手”的专利,公开号CN120291054A,肯求日历为2024年01月。

专利摘录裸露,本肯求公开了一种安全互锁扬弃安装、半导体工艺开导过火扬弃身手,以镌汰电路测度打算复杂度,减少元器件的数目,并镌汰开导成本。安全互锁扬弃安装包括:压力触发模块、多个继电器和扬弃模块;扬弃模块包括多个第一输出引脚和多个第二输出引脚;压力触发模块,用于在工艺腔室的压力值小于预设压力值时,扬弃各继电器的触点闭合,以使得第二输出引脚和对应的第二电磁阀连通;在工艺腔室的压力值大于八成就是预设压力值时,扬弃各继电器的触点断开,以使得第二输出引脚和对应的第二电磁阀断开。

天眼查贵府裸露,北京朔方华创微电子装备有限公司,建立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册本钱114153.708311万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标模式1091次,财产陈迹方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还领有行政许可340个。

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